四探針測試儀廣泛用于精確的電阻率測量，因為它克服了這些測量中經常遇到的幾個挑戰。

關鍵優勢之一是這種方法消除了接觸電阻的問題。接觸電阻是在測量設備和被測材料之間的接觸點處遇到的電阻。此電阻會在測量中引入誤差，而四探針測試儀可通過使用單獨的觸點進行電流注入和電壓測量來幫助減少或消除此誤差。這是因為兩個外部探頭用于注入電流，兩個內部探頭用于測量電壓。因此，可能影響測量的電阻被旁路。

此外，四探針測試儀允許對各種形狀的樣品進行精確的電阻率測量，因為它不依賴于探針的幾何形狀，而是依賴于探針的均勻間距。這種多功能性使其成為各種應用的首選方法。

此外，四探針測試儀常用于半導體材料研究和器件測試。半導體材料的電阻率會影響器件的幾個關鍵特性，例如電容、串聯電阻和閾值電壓。通過使用四探針測試儀方法，研究人員和工程師可以準確了解這些參數，從而促進更有效的半導體器件設計和優化。

但是，值得注意的是，要成功進行電阻率測量，需要考慮潛在的誤差源，例如靜電干擾，這在高電阻水平時尤其容易出現問題。

最后，為了表征低電阻材料，包括可編程電流源和納伏級電壓測量設備在內的特定配置可以與四探針測試儀結合使用，即使在具有挑戰性的場景中也能實現高精度測量。